助力科研光学3D表面轮廓仪服务超精密抛光技术发展

2025-10-25

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随着技术的不断进步,精密制造领域对材料表面的处理要求越来越高,超精密抛光技术作为当下表面处理的尖端技术,对各种高精密产品的生产起到了至关重要的作用,已广泛应用于集成电路制造、医疗器械、航空航天、3C电子、汽车、精密模具等多个先进制造行业。

SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪通过纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术实现0.1nm级表面粗糙度测量,成为超精密抛光技术研究领域的重要工具和帮手。

浙江工业大学赵军、吕冰海团队对磨料旋转射流抛光(ARJP)技术,剪切增稠抛光技术等开展深入研究,并利用SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪对抛光后表面粗糙度进行检测验证,多篇论文在国际TOP期刊发布。

Tribology International》

(中科院一区)

Numerical and experimental investigation on the material removal profile during polishing of inner surfaces using an abrasive rotating jet

论文链接

https://doi.org/10.1016/j.triboint.2023.109125

Wear》

(中科院一区)

Effect of elastohydrodynamic characteristics on surface roughness in cylindrical shear thickening polishing process.

论文链接

https://doi.org/10.1016/j.wear.2023.205026

Surface & Coatings Technology》

(中科院一区)

Surface polishing and modification of Ti-6Al-4V alloy by shear thickening polishing.

论文链接

https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2023.129771

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